浅析MEMS技术在电子通信产业中的价值

摘要： 电子通信产业是衡量国家发展水平的重要标志之一。MEMS技术是随着社会发展起来的一门先进技术，在电子通信产业中发挥着至关重要的作用。本文就MEMS技术在电子通信产业中的价值进行全面分析，以供参考。

Abstract： Electronic communications industry is one of the important signs to measure the development level of a country. The technology of MEMS is an advanced technology and social development， plays a critical role in the electronic communication industry. The paper analyzes the value of MEMS technology in electronic communication industry， for reference.

关键词： MEMS技术；电子通信产业；价值

Key words： MEMS technology；electronic communications industry；value

中图分类号：TP211+.4 文献标识码：A 文章编号：1006-4311（2013）36-0232-02

0 引言

MEMS技术又称微机电系统，其主要有电源、通信技术、控制电路、信号处理系统、微型执行器、传感器、微型机构等部分构成，在实际工作中，这一技术中的各种微型器件都可以被批量制作。MEMS技术是一项多学科的先进技术，将电子技术与机械集成化有机的结合起来，促进了电子通信技术产业的快速发展。

1 MEMS技术的特点

过去，人们往往会采用电子机械系统来完成各项生产工作，但是由于受到当时条件的限制，很多工作都无法通过该系统完成。为了解决这一问题，人们将MEMS技术应用在其中，这种技术具有智能化、自动化的特点，它能够完成过去电子机械系统无法完成的生产工作。相对于传统的微电子加工技术而言，MEMS技术具有以下特点。

①集成化。由于微型执行器与微型传感器具有不同的功能，其工作范围也大不相同，此时我们可以通过MEMS技术将其进行集成，从而满足生产工作的要求，另外，MEMS技术还可以与IC进行集成，从而形成结构更为复杂的位系统。②微型化。随着社会的发展以及技术水平的不断提高，微机电系统不仅功能越来越强大，其单位也在不断缩小，现已实现亚微米级技术。通过该项技术，不仅能够有效的缩小生产器件的体积，还能够提高其生产效率，降低能耗。③材料先进。为了适应MEMS技术的快速发展，我们也选择了较为先进的材料——晶体硅，因为这种材料在生产过程中具有非常好的功能，可以有效的降低工作强度，达到理想的效果。④批量制作。正因为MEMS技术采用的材料是晶体硅，在实际生产过程中，人们可以在这一片晶体硅上同时生产若干零部件，一方面提高了生产效率，另一方面也降低了能耗，是一项值得推广的技术。

2 当前我国MEMS技术的发展现状

在当前的社会发展中，MEMS技术在微型执行器、微型传感器以及微型系统三个方面得到了广泛的应用。

①在微型执行器方面。MEMS技术通过微型执行器的各项功能，可以对电子科技产品的运动进行全面控制，通过MEMS技术所生产出的科技产品有微马达、微型阀等。②MEMS技术在微型传感器方面得到了广泛的应用。在当前的社会发展中，通过人们的不断研究，MEMS技术已经生产出大量的加速度传感器、压力传感器等，并受到了人们的广泛关注。③在微型系统方面。微型系统具有集成化特点，并且还具有相对较高的特点，它是MEMS技术未来发展过程中的必然趋势。在未来的社会发展中，微型系统在MEMS技术的应用之下会不断在生物界、医学界等领域得到广泛的应用：首先，微生物芯片的生产。在MEMS技术的硅片上生产出的微生物芯片具有成本低、体积小、功能多等优点，这一零部件可以对样品进行合理的分析、检测与处理，它能够有效的推动电子通信产业的发展。其次，微光机电系统的生产。微光机电系统也就是将光、电、机械三个方面有机的结合起来，通过MEMS技术进行开发，从而形成一个完善的系统。目前，这一系统正在推广与普及，是电子通信产业的一次伟大革命。再次，射频微系统的生产。这一技术是将MIC进行集成，可以对信息进行收集、分析、检测等，当科学家证实该理念的可行性之后，不仅能够对零部件进行批量生产，还能够达到经济性、可靠性、安全性等目的。

3 MEMS技术的未来发展趋势

首先，通过MEMS技术的应用与研究生产射频滤波器，促进电子通信产业的发展。射频滤波器是当前MEMS技术研究的重点对象，当实现了射频滤波器的生产，也就可以使电子通信产业中各个部件实现集成化特点，一方面可以有效的缩小系统的体积，另一方面还能够提高信息的处理效率，使电子通信产业在市场中占有主导地位。其次，高Q值电感技术的应用与发展。通过该项技术，我们可以直接将铜化金属以及电薄膜加工于芯片层，这一技术可以有效的保护产品的整个生产工艺，其Q值不小于30，在其使用之后，可以达到低成本的生产与处理的目的。再次，电容的可变性可以促进电子通信产业朝向商业化的方向发展。在MEMS可变电容当中，我们可以适当减小空气层的厚度，然后通过电极来对设备的电容量进行适当的调整，从而保证其稳定性。其中，可变电容具有Q值高、调整区域广、程序简单等优点。

4 MEMS技术在社会发展中产生的价值

4.1 具有标志性价值 在当前的社会发展中，科技水平得到了显著的提高，这就要求MEMS技术具有技术含量高、设备先进等特点，使MEMS技术在电子通信技术产业中得到广泛的应用，推动电子通信技术产业进一步发展。

4.2 具有发展性价值 现阶段，MEMS技术的不断发展现已渗透到电子通信产业当中，促进了电子通信产业发展的快速发展。为满足社会发展的需求，计算机技术、光纤设备、卫星通信技术等先进科技正在不断更新，在这一社会背景下，MEMS技术更需要不断发展，扩大其发展张力。

4.3 具有应用性价值 电子通信产业是当前社会发展中一门新兴的产业，已渗透到社会各行各业当中。MEMS技术是电子通信产业中的重要组成部分，为了适应其广泛的应用，就要求该技术具有较高的经济价值，满足当前市场运行的需求。不可否认的是，MEMS技术具有非常大的发展潜力。随着MEMS技术在电子通信产业中的广泛应用，我们不得不承认，科技创新必然会促进社会的进步与发展，必然会促使人类文明向前迈进一大步。此时，人们已经认识到了各种电子通信技术在社会发展中的重要性，纷纷投入了对该项技术的研究当中，从而促进社会经济的快速发展，提高人们的生活水平与生活质量。MEMS技术在人们的日常生活与工作中得到了广泛的应用，这主要是由于该项技术生产的产品具有成本低、体积小等特点。现已被人们认定为为下个世纪最有前途的技术之一。但是我们还需要看到的是，MEMS技术在封装方面还存在着一些问题，因为MEMS技术生产的产品虽然具有多样性，但是在不同的环境下，其缺点也会一一暴露。在实际工作中，封装与测试还会提高产品的成本。才保证MEMS产品性能的基础上，封装的低成本已经成为当前人们重点关注的问题。

5 结束语

总而言之，MEMS技术正逐步发展成为电子通信行业的主导产业之一，就像近20年来微电子产业和计算机产业给人类带来的巨大变化一样，MEMS技术也正在孕育一场深刻的技术变革并且将对人类社会产生新一轮的影响。虽然我国的MEMS技术已经发展了近20年，但整体仍旧处于基础阶段，在质量、性能价格比及商品化等方面与国外差距还很大，我们应该把MEMS技术看做一个具有极大潜力的经济增长点，结合我国社会经济发展的需要和国家竞争前的核心技术发展战略，紧随国际MEMS技术的发展趋势，掌握MEMS材料、设计、制造、检测、工艺、装备与系统集成等方面的具有自主知识产权的关键技术，建立我国的MEMS研发体系和产业化基地，为推动MEMS的可持续发展和未来产业化的形成打下良好的基础，力争尽快迎来以MEMS技术为主导的电子通信技术产业的快速起步和全面发展阶段的到来。

参考文献：

[1]谭志斌，周勇.我国电子通信制造业技术创新能力评价分析[J].现代管理科学，2006（08）.

[2]陈江华，项斌，莫邦燹，王展飞，倪学文.适于MEMS加速度计读出电路带宽可调的低通滤波器[J].北京大学学报（自然科学版）网络版（预印本），2007（03）.

[3]胡剑，李刚炎.基于MEMS的光开关技术研究[J].半导体技术，2007（04）.