微细加工技术

1.大角度离子注入机控制系统软件设计伍三忠，吴学忠，WUSan-zhong，WUXue-zhong

2.X射线光刻和剥离技术制作声表面波叉指换能器李晶晶，赵以贵，贾锐，李冬梅，牛洁斌，柯导明，陈军宁，LIJing-jing，ZHAOYi-gui，JIARui，LIDong-mei，NIUJie-bin，KEDao-ming，CHENJun-ning

3.用于非球面测试的位相型计算全息图制作马杰，朱效立，谢常青，叶甜春，赵珉，刘明，陈宝钦，朱日宏，高志山，马骏，MAJie，ZHUXiao-li，XIEChang-qing，YETian-chun，ZHAOMin，LIUMing，CHENBao-qin，ZHURi-hong，GAOZhi-shan，MAJun

4.高高宽比硬X射线聚焦波带片的制作吴璇，陈军宁，朱效立，牛洁斌，李亚文，胡松，谢常青，WUXuan，CHENJun-ning，ZHUXiao-li，NIUJie-bin，LIYa-wen，HUSong，XIEChang-qing

5.射频磁控共溅射高温NH3退火制备CuO/SiO2复合薄膜的微观结构石锋，李玉国，孙钦军，SHIFeng，LIYu-guo，SUNQin-jun

6.Fe-ZnSe纳米复合颗粒膜的制备和磁电阻效应张林，张昌文，王永娟，ZHANGLin，ZHANGChang-wen，WANGYong-juan

7.Cu掺杂浓度对ZnO薄膜的结构、透光性和电学性质的影响徐庆岩，吴雪梅，诸葛兰剑，陈学梅，吴兆丰，XUQing-yan，WUXue-mei，ZHUGELan-jian，CHENXue-mei，WUZhao-feng

8.聚合物ParyleneC薄膜的反应离子刻蚀研究王亚军，刘景全，沈修成，杨春生，郭中元，芮岳峰，WANGYa-jun，LIUJing-quan，SHENXiu-cheng，YANGChun-sheng，GUOZhong-yuan，RUIYue-

9.高析氢活性Ni-Mo-Zn合金电极的制备与表征朱波，刘贵昌，施志聪，王华，刘伟，ZHUBo，LIUGui-chang，SHIZhi-cong，WANGHua，LIUWei

10.SOI微加速度传感器结构设计与工艺实现徐春晓，房立清，周新伟，XUChun-xiao，FANGLi-qing，ZHOUXin-wei

11.陶瓷釉用TiO2光催化剂的制备研究微细加工技术 陈前林，吴建青，王龙现，CHENQian-lin，WUJian-qing，WANGLong-xian

12.低相位噪声毫米波平面振荡器研究程知群，周云芳，张胜，CHENGZhi-qun，ZHOUYun-fang，ZHANGSheng

13.共缩聚法制备功能化P(St-MPS)/MCM-41核壳复合微球赵彦生，陈凯，刘永梅，刘成岑，张向英，申迎华，ZHAOYan-sheng，CHENKai，LIUYong-mei，LIUCheng-cen，ZHANGXiang-ying，SHENYing-hua

14.Zn2+和PO43-复合掺杂α-Ni(OH)2的结构及电化学性能刘长久，黄良花，赵卫民，邢春晓，刘爱芳，LIUChang-jiu，HUANGLiang-hua，ZHAOWei-min，XINGChun-xiao，LIUAi-fang

15.微气泡在矩形铂膜加热器上的控制性生长及振动李倩，刘国华，徐进良，张伟，LIQian，LIUGuo-hua，XUJin-liang，ZHANGWei

16.反磁悬浮涡流旋转微陀螺的定子研究刘凯，张卫平，陈文元，刘武，李凯，戴福彦，LIUKai，ZHANGWei-ping，CHENWen-yuan，LIUWu，LIKai，DAIFu-yan

17.MOCVD侧向外延生长GaN的研究朱丽虹，李晓莹，刘宝林，ZHULi-hong，LIXiao-ying，LIUBao-lin

18.锂离子电池正极材料LiNi0.4Co0.2Mn0.4O2的合成及电化学性能钟胜奎，刘乐通，刘洁群，姜吉琼，王健，李阳，郑少英，ZHONGSheng-kui，LIULe-tong，LIUJie-qun，JIANGJi-qiong，WANGJian，LIYang，ZHENGShao-ying

19.染料敏化太阳能电池改性PEDOT:PSS对电极的制备巩翠翠，胡志强，苏岩，李璞，周红茹，康姣，GONGCui-cui，HUZhi-qiang，SUYan，LIPu，ZHOUHong-ru，KANGJiao

20.碳纳米管场电子发射性能不稳定性的分析王必本，王峰瀛，党纯，WANGBi-ben，WANGFeng-ying，DANGChun

1.选择性BF2+离子注入对提高DRAM刷新时间的研究彭坤，王飚，林大成，吴萍，外山弘毅，PENGKun，WANGBiao，LINDacheng，WUPing，ToyamaKoki

2.利用压印技术制备大面积相变材料阵列刘彦伯，钮晓鸣，宋志棠，闵国全，万永中，张静，周伟民，李小丽，张挺，张剑平，LIUYanbo，NIUXiaoming，SONGZhitang，MINGuoquan，WANYongzhong，ZHANGJing，ZHOUWeimin，LIXiaoli，ZHANGTing，ZHANGJianping

3.增强双光子微细加工分辨率的新技术韦晓全，李艳秋，高国华，朱煜，马竞，WEIXiaoquan，LIYanqiu，GAOGuohua，ZHUyu，MAJing

4.超薄阳极氧化铝模版的制备胡迪，白安琪，成步文，王启明，HUDi，BAIAnqi，CHENGBuwen，WANGQiming

5.多弧离子镀(Ti,Al,Cr)N硬质膜的沉积工艺与力学性能王闯，张钧，WANGChuang，ZHANGJun

6.Z箍缩柱面丝阵负载装配微张力控制器研制周忆，何洁，董元伟，彭万彬，ZHOUYi，HEJie，DONGYuanwei，PENGWanbin

7.铜叉指换能器声表面波驱动装置的研究高阳，李以贵，张俊峰，GAOYang，LIYigui，ZHANGJunfeng

8.光敏微晶玻璃-PDMS微流控芯片制备及电渗性能研究程莉莉，王升高，邓晓清，余冬冬，李艳琼，汪建华，CHENGLili，WANGShenggao，DENGXiaoqing，YUDongdong，LIYanqiong，WANGJianhua

9.乳胶体系流延片叠层制备znO压敏陶瓷材料研究华伟刚，张鹤，贺艳，崔学民，HUAWeigang，ZHANGHe，HEYan，CUIXuemin

10.用于传感的聚合物微谐振环的研制郭洪波，鄂书林，邓文渊，孔光明，GUOHongbo，EShulin，DENGWenyuan，KONGGuangming

11.基于微模塑复制技术的聚合物微悬臂梁的研制白英良，段辉高，韩立，BAIYingliang，DUANHuigao，HANLi

12.一种高性能的硅微谐振陀螺王路达，郭占社，樊尚春，WANGLuda，FANShangchun，GUOZhanshe

13.石英音叉陀螺芯片工艺误差的影响分析路文一，崔芳，闫海，冯立辉，孙雨南，LUWenyi，CUIFang，YANHai，FENGLihui，SUNYunan

14.短讯

15.MEMS微结构电沉积层均匀性的有限元模拟汤俊，汪红，刘瑞，毛胜平，李雪萍，王志民，丁桂甫，TANGJun，WANGHong，LIURui，MAOSheng-ping，LIXue-ping，WANGZhi-min，DINGGui-fu

16.微小等离子体发生器刻蚀机理的研究王海，文莉，向伟伟，张秋萍，褚家如，WANGHai，WENLi，XIANWeiwei，ZHANGQiuqing，CHUJiaru

17.新型结构碳材料——碳纳米针张雷，王小平，王丽军，段新超，王降洋，雷通，吕承瑞，ZHANGLei，WANGXiaoping，WANGLijun，DUANXinchao，WANGLongyang，LEITong，LVChengrui

18.基于MEMS的高Q值核磁共振平面微线圈李晓南，王明，杨文晖，王利，宋涛，LIXiaonan，WANGMing，YANGWenhui，WANGLi，SONGTao

19.水射流导引激光在微细加工中的应用蔡黎明，雷玉勇，邴龙健，唐令波，CAILiming，LEIYuyong，BINGLongjian，TANGLingbo

1.无掩模光刻技术研究蒋文波，胡松，JIANGWen-bo，HUSong

2.电子束光刻制备5000line/mm光栅掩模关键技术研究朱效立，谢常青，赵珉，陈宝钦，叶甜春，牛洁斌，张庆钊，刘明，ZHUXiao-li，XIEChang-qing，ZHAOMin，CHENBno-qin，YETian-chun，NIUJie-bin，ZHANGQing-zhao，LIUMing

3.基于图像分析的SEM显微视觉自动聚焦技术研究李勇滔，韩立，LIYong-tao，HANLi

4.HSQ用于电子束曝光的性能分析赵珉，陈宝钦，刘明，谢常青，朱效立，ZHAOMin，CHENBao-qin，LIUMing，XIEChang-qing，ZHUXiao-li

5.利用射频与高压直接耦合等离子体注入进行不锈钢表面改性巩春志，田修波，杨士勤，GONGChun-zhi，TIANXiu-bo，YANGShi-qin

6.衍射光学元件的扫描刻蚀深度在线检测徐作冬，刘颖，徐向东，徐德权，付绍军，XUZuo-dong，LIUYing，XUXiang-dong，XUDe-quan，FUShao-jun

7.单点光学终点检测系统的研究周国安，柳滨，王学军，种宝春，ZHOUGuo-an，LIUBin，WANGXue-jun，CHONGBao-chun

8.微细加工技术 热压印技术制作纳米光栅熊瑛，刘刚，田扬超，XIONGYing，LIUGang，TIANYang-chao

9.激光微切割钴铬管的实验研究蒋茂华，翟立斌，陈继民，JIANGMao-hua，ZHAILi-bin，CHENJi-min

10.基片温度对真空热蒸发的SnS薄膜性能的影响贾宏杰，程树英，JIAHong-jie，CHENGShu-ying

11.Ar气压强对直流脉冲磁控溅射制备Mo薄膜性能的影响朱继国，丁万昱，王华林，张树旺，张粲，张俊计，柴卫平，ZHUJi-guo，DINGWan-yu，WANGHua-lin，ZHANGShu-wang，ZHANGCan，ZHANGJun-ji，CHAIWei-ping

12.衬底位置对大面积CVD金刚石薄膜质量的影响王丽军，王小平，张雷，王隆洋，WANGLi-jun，WANGXiao-ping，ZHANGLei，WANGLong-yang

13.基于滑膜阻尼的间接连接型音叉式微机械陀螺文永蓬，王安麟，姜涛，刘钊，刘广军，WENYong-peng，WANGAn-lin，JIANGTao，LIUZhao，LIUGuang-jun

14.二维纳米胶体球膜版的制备研究牛文国，刘丽峰，乔金菊，刘翠袖，NIUWen-guo，LIULi-feng，QIAOJin-ju，LIUCui-xiu

15.绿色二氧化碳超临界清洗设备高超群，李全宝，刘茂哲，景玉鹏，GAOChao-qun，LIQuan-bao，LIUMao-zhe，JINGYu-pengHtTp://

16.MEMS热敏微流量传感器研究刘国华，张伟，徐进良，LIUGuo-hua，ZHANGWei，XUJin-liang

17.基于田口方法的合金薄膜铜衬底超精密抛光工艺优化研究朱从容，袁巨龙，吕冰海，文东辉，ZHUCong-rong，YUANJu-long，LVBing-hai，WENDong-hui

18.一种用于微拉伸系统的MEMS弹簧设计与制作刘瑞，汪红，丁桂甫，李雪萍，杨春生，LIURui，WANGHong，DINGGui-fu，LIXue-pin，YANGChun-sheng

1.基于扫描电子显微镜的集成电路显微拍摄系统刘伟，殷伯华，LIUWei，YINBo-hua

2.聚合物光波导的反应离子刻蚀工艺研究陆志远，胡国华，恽斌峰，崔一平，LUZhi-yuan，HUGuo-hua，YUNBin-feng，CUIYi-ping

3.多量子阱红外探测器垂直光耦合研究马楠，邓军，牟明威，史衍丽，崔碧峰，张蕾，沈光地，MANan，DENGJun，MUMing-wei，SHIYan-li，CUIBi-feng，ZHANGLei，SHENGuang-di

4.纳米光刻双光栅对准莫尔条纹分析周绍林，唐小萍，胡松，马平，陈旺富，严伟，ZHOUShao-lin，TANGXiao-ping，HUSong，MAPing，CHENWang-fu，YANWei

5.Te薄膜封装层对有机电致发光器件寿命的影响李欣，张方辉，王秀峰，张志刚，张宏科，LIXin，ZHANGFang-hui，WANGXiu-feng，ZHANGZhi-gang，ZHANGHong-ke

6.铜薄膜的直流磁控溅射制备与表征高丽，花银群，陈瑞芳，GAOLi，HUAYin-qun，CHENRui-fang

7.CVD金刚石膜表面图形化加工技术的研究满卫东，孙蕾，吴宇琼，谢鹏，余学超，汪建华，MANWei-dong，SUNLei，WuYu-qiong，XIEPeng，YUXue-chao，WANGJian-hua

8.Fe膜及磁场沉积对TbDy-Fe膜磁伸性能的影响毛宏英，周白杨，雷德辉，汤乐明，邓光华，MAOHong-ying，ZHOUBai-yang，LEIDe-hui，TANGLe-ming，DENGGuang-hua

9.Li3V2(PO4)3/C复合正极材料的合成及电化学性能刘民忠，郭学益，LIUMin-zhong，GUOXue-yi

10.一种封装后释放的准LIGA加工工艺研究陆松涛，俞正寅，庞洁，沈时强，杨恒，LUSong-tao，YUZheng-yin，PANGJie，SHENShi-qiang，YANGHeng

11.一种内埋式电容器用钛酸钡/环氧复合材料的研制马寒冰，陈章，MAHan-bing，CHENZhang

12.基于自抗扰控制器的6-DOF磁悬浮平台悬浮高度控制刘德君，曲永印，白晶，LIUDe-jun，QUYong-yin，BAIJing

13.计算机硬盘NiP基板CMP机理及技术研究田军，刘玉岭，檀柏梅，牛新环，唐文栋，TIANJun，LIUYu-ling，TANBai-mei，NIUXin-huan，TANGWen-dong

14.用于自适应红外焦平面探测器的液晶微透镜阵列吴立丰，喻迪，张新宇，张天序，WULi-feng，YUDi，ZHANGXin-yu，ZHANGTian-xu

1.PI参数自整定扫描探针显微镜控制器的设计侯锡立，靳鹏云，HOUXi-li，JINPeng-yun

2.高速偏放系统噪声抑制技术的研究姚作宾，张玉林，魏守水，YAOZuo-bin，ZHANGYu-lin，WEIShou-shui

3.霍尔传感器特性曲线的样条函数拟合方法邓重一，廖海生，DENGZhong-yi，LIAOHai-sheng

4.α-Fe2O3纳米粉体的低温燃烧合成与表征李文戈，金华峰，LIWen-ge，JINHua-feng

5.氨化法制备大量单晶GaN纳米线及其特性研究薛成山，秦丽霞，庄惠照，陈金华，杨兆柱，李红，XUECheng-shan，QINLi-xia，ZHUANGHui-zhao，CHENJin-hua，YANGZhao-zhu，LIHong

6.纳米非晶态Ni(OH)2电极材料的稀土掺杂改性研究刘长久，谷得龙，孙丹，吴华斌，LIUChang-jiu，GUDe-long，SUNDan，WUHua-bin

7.硅基热电堆真空传感器的制造技术马斌，梁平治，陈世军，程正喜，MABin，LIANGPing-zhi，CHENShi-jun，CHENGZheng-xi

8.计算机硬盘微晶玻璃基板抛光研究刘学璋，王柏春，许向阳，谢圣中，翟海军，LIUXue-zhang，WANGBai-chun，XUXiang-yang，XIESheng-zhong，ZHAIHai-jun

9.柔性压电式微位移机构动态特性的实验研究孙宝玉，SUNBao-yu

10.固相悬浮研磨法制备纯氧化锆超细粉段国荣，李爱梅，杨绪杰，陆路德，汪信，DUANGuo-rong，LIAi-mei，YANGXu-jie，LULu-de，WANGXin

11.柔性神经微电极阵列设计及微加工工艺研究吴义伯，邢玉梅，倪鹤南，徐爱兰，惠春，任秋实，李刚，WUYi-bo，XINGYu-mei，NIHe-nan，XUAi'lan，HUIChun，RENQiu-shi，LIGang

12.微球体尺度对硅片表面改性效果的影响李伟，张德坤，吴虎城，LIWei，ZHANGDe-kun，WUHu-cheng

13.莫尔条纹噪声控制及细分精度分析吕孟军，郭琪，LVMeng-jun，GUOQi

14.氧化锌薄膜体声波谐振器的研制汤亮，郝震宏，乔东海，汪承灏，TANGLiang，HAOZhen-hong，QIAODong-hai，WANGCheng-hao

15.镍/碳纳米管复合薄膜的制备及其性能的研究吴嘉浩，刘萍，徐东，张亚非，WUJia-hao，LIUPing，XUDong，ZHANGYa-fei

1.微机电系统封装技术潘开林，，宁叶香，颜毅林，PANKai-lin，LIPeng，NINGYe-xiang，YANYi-lin

2.BF2+离子注入时磷杂质离子污染控制的研究彭坤，林大成，PENGKun，LINDa-cheng

3.离子注入机大行程垂直扫描系统的研制肖仁耀，许波涛，XIAORen-yao，XUBo-tao

4.用X光光刻法制备亚波长抗反射结构李以贵，杉山进，LIYi-gui，SUGIYAMASusumu

5.用于ICF驱动器的色分离光栅的制作胡新宁，刘刚，田扬超，HUXin-ning，LIUGang，TIANYang-chao

6.靶材自制ZAO薄膜的制备与光电性能江民红，刘心宇，李海麒，JIANGMin-hong，LIUXin-yu，LIHai-qi

7.A1掺杂ZnO薄膜的XPS谱及电学性质研究微细加工技术 李丽，方亮，李秋俊，陈希明，董建新，冯世娟，LILi，FANGLiang，LIQiu-jun，CHENXi-ming，DONGJian-xin，FENGShi-juan

8.采用丙酮催化燃烧法制备多壁碳纳米管李飞，邹小平，程进，任鹏飞，张红丹，王茂发，朱光，苏燚，LIFei，ZHOUXiao-ping，CHENGJin，RENPeng-fei，ZHANGHong-dan，WANGMao-fa，ZHUGuang，SUYi

9.静电纺丝法制备钇铁石榴石单晶纳米纤维陈莹莹，张溪文，候建梅，韩高荣，CHENGYing-ying，ZHANGXi-wen，HOUJian-mei，HANGao-rong

10.可逆示温微胶囊的制备及性能研究乔吉超，胡小玲，管萍，柏雪倩，QIAOJi-chao，HUXiao-ling，GUANPing，BOXue-qian

11.氧化铝/聚甲基丙烯酸复合粒子的抛光性能雷红，张泽芳，LEIHong，ZHANGZe-fang

12.基于MEMS技术的微型燃烧器的特性分析与设计闫云飞，张力，冉景煜，唐强，马盟，邱贇，YANYun-fei，ZHANGLi，RANJing-yu，TANGQiang，MAMeng，QIUYun

13.碳纳米尖端形成的理论分析党纯，王廷志，DANGChun，WANGTing-zhi

14.微凸起及微坑结构的放电加工基础性研究杨志伟，云乃彰，陈建宁，YANGZhi-wei，YUNNai-zhang，CHENJian-ning

1.电子束曝光控制软件系统设计与实现魏淑华，宋志，张今朝，韩立，WEIShu-hua，SONGZhi，ZHANGJin-zhao，HANLi

2.中能离子注入机用静电吸盘肖仁耀，孙雪平，XIAORen-yao，SUNXue-ping

3.激光聚焦扫描扇区掩模制作光电码盘新方法赵立新，胡松，王肇志，罗正全，ZHAOLi-xin，HUSong，WANGZhao-zhi，LUOZheng-quan

4.ICP刻蚀技术在808nm激光器中的应用王致远，WANGZhi-yuan

5.柔性衬底上六噻吩薄膜的有序生长沐俊应，陈振兴，梁氏秋水，MUJun-ying，CHENZhen-xing，LIANGSHIQiu-shui

6.蓝宝石衬底上二维亚波长增透结构的设计分析徐启远，刘正堂，李阳平，闫峰，XUQi-yuan，LIUZheng-tang，LIYang-ping，YANFeng

7.等离子辅助化学气相沉积制备可延展的硅薄膜韩喻，谢凯，HANYU，XIEKai

8.Zn1-xCoxO纳米复合薄膜的磁特性任妙娟，唐海马，赵鹏，张军，RENMiao-juan，TANGHai-ma，ZHAOPeng，ZHANGJun

9.蓝宝石衬底的化学机械抛光工艺研究赵之雯，ZHAZhi-wen

10.反相微乳法制备锆锰掺杂六铝酸盐催化剂的研究王苑娜，余倩，余林，张绮旎，孙明，凌伟军，江东权，莫春生，WANGYuan-na，YUQian，YULin，ZHANGQi-ni，SUNMing，LINGWei-jun，JIANGDong-quan，MOChun-sheng

11.微细电铸电流密度的有限元分析李国锋，王翔，何冀军，朱学林，黄文浩，LIGuo-feng，WANGXiang，HEJi-jun，ZHUXue-lin，HUANGWen-hao

12.短讯两则

13.一种基于薄膜体声波谐振器的高灵敏度质量传感器马绍宇，韩雁，董树荣，李侃，周海峰，MAShao-yu，HANYan，DONGShu-rong，LIKan，ZHOUHai-feng

14.一种新型的全局互连结构及其加工方法张丛春，刘兴刚，杨春生，石金川，ZHANGCong-chun，LIUXing-gang，YANGChun-sheng，SHIJin-chuan

15.微细加工技术 磁头滑块的湿法与干法刻蚀实验研究谭晓兰，孟永钢，李宁，林晶，TANXiao-lan，MENGYong-gang，LINing，LINJing

16.Cu互连应力迁移失效有限元分析刘静，刘彬，汪家友，吴振宇，杨银堂，LIUJing，LIUBin，WANGJia-you，WUZhen-yu，YANGYin-tang

17.利用C6H8O7/H2O2溶液对AlxGa1-xAs/GaAs的李文兵，韩勤，杨晓红，杜云，朱彬，倪海乔，LIWen-bing，HANQin，YANGXiao-hong，DUYun，ZHUBin，NIHai-qiao

18.Pyrex玻璃凹槽刻蚀及槽底粗糙度研究江平，侯占强，肖定邦，吴学忠，JIANGPing，HOUZhan-qiang，XIAODing-bang，WUXue-zhong