MEMS前景广阔,从传统领域向新兴市场扩展

由Global Press主办的“第七届全球电子峰会”(Electronics Summit 2009)于3月30日在美国旧金山开幕，尽管时下全球经济低迷，但本届展会仍然一如既往，吸引了众多来自全球各地的半导体厂商、EDA工具供应商、IC设计厂商、媒体记者以及市场分析师，围绕电子行业中新热点、新技术提出各自的解决方案及相应对策。

在本届电子峰会上，MEMS无疑是一个热点，从主办方Global Press的日程安排上也可以看出来，题目为“MEMS市场增长点在哪里?”的辩论会被安排在第一天会议主题演讲之后的黄金时间，正如主办方Global Press总裁Irmgard Lafrentz在会议致辞中所说的，“这是一次真正意义的MEMS Panel”，因为，在短短1小时的辩论中，就吸引了ADI、Microvision、Kionix、Maxim和VTI Technologies公司参加。

ADI在MEMS领域可以说是领导厂商，自从1993年生产第一只iMEMs加速度计以来，ADI不断开创及扩大其MEMS产品。目前，ADI具有多种MEMS产品，包括业界应用广泛的低g、高g加速度计和陀螺仪。ADI参加辩论会的代表Mark Martin认为，半导体行业的一个主要的驱动来自如何处理现实世界的多种多样的模拟信号――这其中MEMS传感器得到了快速增长，运动传感器正在使人机界面变得更友好、产品更易使用，使更多的监视和控制成为可能。随着MEMS器件的发展，人们对于五种运动传感器：加速度传感器、震动(Vibration)传感器、冲击(shock)传感器、倾斜(Tilt)传感器、旋转(Rotation)传感器的认识也在逐渐提高，这些都将推动新型MEMS器件的出现以及在新产品中得到采用。Mark认为，MEMS领域存在着巨大的增长潜力，目前，MEMS的应用正在从原来的汽车工业向消费电子、医疗甚至仪器领域扩展。

VTI Technologies是汽车工业和心节律管理领域中应用的低g加速度传感器的市场领导者，其生产的运动和压力传感器广泛应用在汽车工业、运动健身、医疗设备及手持终端领域。谈到MEMS市场的增长点，VTI Technologies参加辩论会的代表Scott Smyser认为，MEMS在多个领域都实现了快速增长。MEMS器件的应用领域也在发生演变，以加速度计为例，上个世纪90年代，其主要应用领域是汽车中的安全气囊，如今，已扩展到以手持设备、游戏机为主的消费电子。新应用市场的出现为MEMS的增长带来强大驱动力。

2007年苹果iphone手机、任天堂wii游戏机的火爆销售，开启了MEMS器件在手持移动消费电子领域的应用。Kionix的代表Eric Eisenhut认为，目前，MEMS技术已发展到一个关键时刻，对于消费电子市场期望的工艺、价格及生产规模都已满足，这使得MEMS器件开始从消费电子的用户接口这一单一应用向更多新应用领域扩张，但是，一些领域如健康监护市场的应用才刚刚起步。他认为，MEMS器件的价值很大程度上依赖于设计者和应用开发者如何将其集成到终端产品／应用中。算法、开发工具以及应用架构将对MEMS产业的持续增长起关键作用。

同样是关注消费电子市场，Microvision的产品主要是光学MEMS器件，该公司的超微型激光投影仪引擎Pic0P基于其独有的单芯片MEMS微镜技术，尺寸仅7mm×20mm×42mm，可以嵌入到外形小巧轻薄的移动手持设备中。Microvision的代表Ian Brown在大会现场演示了这种微型投影仪，它可以将光线打在墙上、天花板上，甚至移动的人脸上，都可以产生清晰的图像。要满足手持移动产品的需要，这种微型投影器件不仅要做到外型小巧，还得具有低功耗的特点。

除了以上这些MEMS供应商以外，MAXIM也参加了本次辩论会。MAXIM的代表Vijay Ullal认为，传感器的出现是机器工业的又一次革命，而MEMS传感器无疑将使机器走向智能化。对于半导体厂商，MEMS器件本身诚然是需要关注的，但将MEMS与微处理器连接起来以使现系统的更高智能是半导体厂商更应关注的技术。当将MEMS与经验证的ASIC或微控制器集成在一起时，能带来很高的投资回报率。尤其是在MAXIM可以介入的领域，MEMS表现出了出色的增长趋势。MAXIM正是看到了这些因素，因此选择进XMEMS领域。当然，Vijay同时也指出，MAXIM作为一个模拟、混合信号IC供应商，其原有的一些产品线、开发工具以及雄厚的模拟技术经验使它在进入MEMS领域时具有得天独厚的优势。

isuppli预测，在消费电子和无线应用的驱动下，2012年MEMS器件的整体市场将达到88亿美元。面对MEMS的广阔前景，半导体供应商可谓信心百倍。但是，笔者以为，MEMS要实现新的飞跃，需要在两方面努力：一是MEMS器件本身的性能提高，二是新应用的开发。在技术上，MEMS这种牵涉多领域技术的微系统，它的发展有赖于半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展。MEMS器件多种多样，它的应用也是五花八门。对于MEMS供应商，他们不仅需要生产出满足终端市场需求的高性能器件，更需要开发新应用市场，正如Kionix的代表所指出的，关键是要将MEMS集成到终端产品中，并为终端产品真正带来价值提升，从而获得市场成功。