汉民投资逾10年 掌声响起

今年Semicon Taiwan期间，由汉民投资超过10年的汉民微测(HMI)及汉辰科技(AIBT)两家公司，即将在台湾为用户举行技术研讨会，在关键奈米世代，电子束缺陷检测仪及低能量离子布植的超浅接合(USJ)技术，令市场瞩目。

设备产业往亚洲区靠拢

虽然2008年对设备材料业者而言，处于产业景气向下波段，但汉民创办人黄民奇表示，“产业景气循环就是这样，会下来也会回升上去。”

黄民奇分析，半导体设备产业的市场已往亚洲挪动。从资本支出（CAPEX）统计数字来看，包括日本、韩国、新加坡、中国及中国台湾地区的亚洲区，已经涵盖全球七，八成市场，因此亚洲绝对是应该优先照顾的市场。

奈米世代的技术挑战

在半导体设备产业耕耘31年汉民科技，于十几年前开始投资设备研发。众人普遍对于汉民为何选择离子植入机及电子束晶圆检测（e-Beam inspection）设备这两项技术投入，感到好奇。

黄民奇说，从个人历史看，这刚好是他踏入半导体设备产业界，所接触的前面两个产品。其次，汉民也掌握与长期伙伴TEL“不竞争、只合作”的原则，所要发展的设备，希望能跟TEL有互补的空间，不但完全没有竞争的可能，而且要跟TEL既有的产品线，产生综合效果。而这两项设备，刚好都合乎这个大原则。

“一个设备出来，对于产业能带来多大的冲击与影响？”这也是汉民的考虑之一。黄民奇了解，半导体技术进入奈米世代后，电子束缺陷检测及低能量离子布植技术，将是相当关键的重要技术，综合几个原则考虑下，汉民因此做成投资的决定。

客户肯定 掌声响起

电子束晶圆检测技术，在奈米世代之前，很多人只是拿来做开发。但进入奈米世代，从90nm之后，包括65nm、45nm及未来，就成了关键技术。甚至在DRAM生产在线，已经做在线（in-line）研发，而不是脱机（off-line）研发。

目前，全球主要晶圆厂（foundry）中都有汉民微测 (HMI)的电子束晶圆检测设备，除了中国台湾地区之外，包括日本、韩国、中国及新加坡等亚洲的生产重镇，都有装机。

据了解，汉民微测 (HMI)的电子束晶圆检测技术还被某大半导体公司相中，双方甚至直接在该半导体大厂的生产在线合作制程开发，成果令人满意。黄民奇认为获得这样的客户肯定，是相当大的鼓舞。

未来，除了晶圆厂外，DRAM厂客户的肯定，才是汉民微测 (HMI)市场占有率大幅增长的关键。

汉辰科技(AIBT)的低能量离子植入机比汉民微测 (HMI)的电子束晶圆检测设备稍晚推出，不但技术前瞻，而且是符合现代潮流的单芯片制程，目前已有两个客户开始在非常尖端制程上，进行严谨的测试。

重视伙伴 携手成长

对于投资开发前瞻半导体设备，黄民奇鼓励内部同仁时会说，大家是在做“人类从来没有做过的事”，感觉非常前卫。但在对待合作伙伴这件事情上，他却对仁义道德，无比讲究。

黄民奇说，汉民自创品牌，投资半导体设备，营销伙伴很重要。因为对市场而言，汉民不但是新加入者，而且离市场也比较远，对客户而言，汉民的技术服务及营运模式都比较难以理解，因此容易不相信汉民的产品可以用、而且技术也可以支持。这些营销上的阻力，是可以想见的。

还好汉民的伙伴，TEL，将汉民的产品引介给韩国、日本甚至美国客户，只是如今美国客户大都不喜欢盖厂，因此汉民决定好好就近耕耘亚洲市场。

黄民奇再三强调，合作伙伴很重要。汉民TEL的产品二十几年，很多技术都熟悉，所以汉民要是做的产品跟TEL竞争，逻辑上就不太对了。那样做违背诚信原则，跳进黄河也洗不清，应该回避。

黄民奇说，我们注重别人的智慧财产（IP），也珍惜过去的合作关系，产品的规划上，本来就应该找具有综效（synergy）的才对。如今，TEL与汉民在产品营销关系上合作，双方甚至在技术上进行合作，汉民微测 (HMI)的电子束晶圆检测设备，也在TEL作为制程研发之用。

新闻

Lam Research开设先进的全球训练中心

半导体晶圆铸造设备与服务领导供货商Lam Research公司日前宣布在新竹开设其全球产品训练中心。该中心提供的训练课程将协助顾客加快运用Lam Research制程工具投入量产，并强化现有Lam Research系统的生产力。这些计划亦将强化本地供应链的技术能力与竞争力。为帮助顾客获得完善的训练，新训练中心特地设在半导体技术研发与制造的核心地区-新竹。课程将以英文双语授课，以提升训练的成效。

为支持8英寸与12英寸晶圆的实作训练，占地3,600平方英尺(约合334平方米)的训练中心将设置2300与Alliance型系统。未来将依据顾客对训练课程的需求成长，再加装更多的设备。该中心的制程与分析课程，帮助顾客藉由实作的过程提升Lam Research设备的生产力，并由当地Lam Research人员以及加州总部的客座讲师担任训练。

Lam Research公司亚太区总裁Daniel Liao表示：“本地化训练不仅让我们顾客节省差旅的时间与费用，亦促成更完善的训练。而这将带来更多利益，包括更快解决制程与设备方面的问题，并减少供货商的支持负担。当顾客更加了解其制程设备，他们便能达成更高的生产力，并达到我们设备的设计宗旨。此训练中心将提升所有地区的顾客支持，尤其有助于持续扩充中的亚太市场。”