真空

扩散泵的世纪回顾与发展杨乃恒 巴德纯 王晓冬 于治明 (1)

重离子深层治癌束运线极高、超高真空系统压力分布与受力分析研究郭宗辉 杨晓天 张军辉 蒙俊 张喜平 (17)

多功能电真空实验装置设计段献学 朱武 (21)

双室真空气淬炉用“闸阀”的制造刘红禹 王艳云 潘继先 丰艳春 汪德涛 宿萌 (24)

无

迁址通知 (16)

川北科技（北京）有限公司 (26)

迁址通知 (26)

迁址通知 (40)

《真空材料》一书出版发行 (47)

真空泵返油在此成为历史 (55)

ZKY-2000真空仪 ZKJ-90真空继电器 (59)

橡胶密封件产品介绍——沈阳市正阳橡塑密封件厂 (77)

《真空技术》一书出版发行 (77)

信息

东北大学第五期《真空技术》培训班招生通知 (23)

淄博真空设备厂有限公司四种产品通过省级鉴定贾清军 (67)

上海曙光机械制造厂有限公司企业情况介绍 (74)

薄膜

近红外区高透射率In2O3：W透明导电氧化物薄膜的研究冯佳涵 杨铭 李桂锋 张群 (27)

离子束后处理对TiO2薄膜光学性质影响的实验研究段永利 许生 巴德纯 高文波 范垂祯 (31)

真空电弧镀沉积高温防护涂层技术李建平 陆峰 蔡妍 张鹏飞 (34)

LaB6薄膜的制备工艺研究朱炳金 陈泽祥 张强 (37)

低温多晶硅薄膜的制备工艺研究杨定宇 蒋孟衡 杨军 (41)

金属铝离子注入掺杂制备氧化锌铝薄膜的研究李剑锋 李国卿 苟伟 周艳梅 薛钰芝 牟宗信 (45)

热丝CVD制备微晶硅薄膜的研究吕博嘉 刘艳红 刘东平 刘爱民 刘韶华 马腾才 (48)

类金刚石膜的性能、制备与应用（二）祝土富 沈丽如 (51)

磁控溅射TiAlNO薄膜的结构与力学性能王吉林 陆永浩 罗庆洪 杨会生 王燕斌 (56)

直流磁控溅射制备TiNxOy薄膜的性能研究陈尔东 王聪 杨海刚 朱开贵 (60)

掺氮类金刚石薄膜的制备及其结构表征王淑占 李合琴 巫邵波 赵之明 宋泽润 (64)

室温直流磁控溅射制备ITO膜及光电性能研究李全友 姚宁 张兵临 葛宝全 王执乾 (68)

PLC应用

可编程序控制器在卷绕式镀膜机中的应用周志文 (71)

基于变压法的变压器真空干燥设备的监控系统设计韩双霞 祝建军 余世明 (75)

真空技术应用系列讲座

第十六讲 真空系统的操作与维护张以忱 (78)

前苏联高真空扩散泵统一系列工作的回顾杨乃恒 (1)

涡旋真空泵应力与变形的ANSYS模拟与研究杨广衍 张先锋 赵元 (12)

圆弧包络线在罗茨转子型线设计中的应用刘坤 巴德纯 张振厚 王光玉 常学森 金璐 (14)

书讯

《真空工程技术》一书已出版张志军 (11)

《真空材料》一书出版发行 (20)

薄膜

NiCr薄膜电阻TCR的影响因素李丙旺 (18)

CrNx薄膜的制备及结构分析于玉城 赵广彬 晋勇 刘志远 (21)

磁场辅助等离子体增强化学气相沉积陈家荣 陈文锦 邱凯 马文霞 (26)

100型MEVVA源注入机注入均匀性研究李强 吴先映 张荟星 刘安东 彭建华 王桂岳 (29)

无

第一届真空热处理技术培训班通知（第一轮） (25)

高频等离子电源（射频电源，RF电源）——长春市星达电子仪器厂 (38)

东北大学李云奇教授逝世 (57)

真空冶金

三室式连续可控气氛炉的研制张金丽 李镇江 张森 孟阿兰 (32)

真空应用

真空油炸技术阎晓倩 朱武 (35)

真空管道垃圾收集系统关键工艺参数优化设计段金明 周敬宣 (39)

HT-7超导托卡马克真空运行的安全保护王厚银 王小明 辜学茂 杨愚 (42)

飞行时间质谱——光离子成像技术的设计渠洪波 明凯峰 梁峰 李海洋 张冰 (46)

基于STM／AFM技术的信息存储材料研究现状及进展凌智勇 宋向前 丁建宁 (51)

真空触发开关的触发能量和延时特性分析周正阳 赵纯 董华军 廖敏夫 (58)

信息

迁址通知 (38)

第二届真空镀膜技术培训班圆满结束 (41)

2007年全国真空冶金与表面工程学术会议征文通知 (50)

东北大学第四期《真空技术》培训班招生通知 (50)

中国真空学会真空工程专业委员会关于征集学术论文的通知 (54)

欢迎积极参展，踊跃报名 (54)

油浸式变压器真空干燥加热机理的分析马玉钢 (55)

真空技术及应用系列讲座

第十四讲：真空工程用焊接技术张以忱 (62)

真空获得技术面临的挑战与对策姜燮昌 (1)

一种新型无油螺杆真空泵单头变螺距转子型线的研究张世伟 徐成海 赵瑜 (8)

BEPCⅡ直线加速器真空系统邓秉林 周锦宝 薛纪钦 张彩霞 丰永玲 (12)

分子泵对Xe气抽速的测试郭宁 邱家稳 江豪成 (15)

油扩散泵抽气速率与被抽气体的关系李殿东 (18)

信息

国内著名真空专家龚求初先生逝世 (7)

中国真空学会真空工程专业委员会关于征集学术论文的通知 (11)

欢迎积极参展，踊跃报名 (17)

TFC＇07全国薄膜技术学术研讨会征集论文通知 (21)

东北大学第四期《真空技术》培训班招生通知 (31)

2007年全国真空冶金与表面工程学术会议征文通知 (31)

上海曙光机械制造厂有限公司企业情况介绍 (43)

2007年2-4季度中国真空学会活动计划 (47)

书讯

《真空工程技术》一书已出版张志军 (14)

《真空工艺与实验技术》一书出版发行 (26)

《真空材料》一书出版发行 (64)

薄膜

氮化铝薄膜发光性能研究进展佟洪波 巴德纯 肖金泉 闻立时 (22)

合金元素（Ti，Cr，Ni）对IBAD制备的碳膜性质的影响李璞 关凯书 (27)

基于计算机辅助的光学薄膜优化设计方法金扬利 马勉军 熊玉卿 (32)

基于人工神经网络的氮化锆薄膜颜色预测模型牛建钢 孙维连 (37)

工作气压对TaN／VN纳米多层膜结构与机械性能的影响张学华 曹猛 乔林 杨瑾 刘桐 李德军 (40)

基于Sigmund理论的溅射产额计算及分析陈明 王君 陈长琦 刘珍 (44)

Cr在多弧离子镀（Ti，Cr）N复合膜中的作用张鑫 邱万奇 史新伟 李春明 (48)

无

ZKY-2000真空仪 ZKJ-90真空继电器 (39)

真空泵返油在此成为历史 (50)

高频等离子电源（射频电源，RF电源）——长春市星达电子仪器厂 (58)

沈阳真空杂志社董事会 (I0001)

真空冶金

真空自耗电弧炉熔炼时的电热计算与技术分析汶宏伟 邹伟 李平良 杨磊 (51)

真空校准

定容式流导法气体微流量校准装置测量不确定度的评定郭美如 张涤新 张学勇 李得天 (55)

计算机在真空中的应用

计算机在真空排气中的应用研究米伦 (59)

真空技术应用系列讲座

第十四讲：真空工程用焊接技术张以忱 (62)

Al含量对非平衡磁控溅射制备Ti1-xAlxN膜性能的影响张以忱 于大洋 马胜歌 刘艳文 巴德纯 (1)

离轴溅射法中最佳几何参量的预测杜晓松 李杰 蒋亚东 谢光忠 李伟 王涛 (5)

近紫外冷反射镜的镀制研究姚春龙 王银河 张辉 (9)

装饰薄膜ZrN的中频反应磁控溅射沉积工艺研究李新领 邢雅周 杨钰瑛 孙维连 周智男 (12)

激光器全反射介质膜的制作原理与光学厚度测定王玉平 张钧 (16)

双生长室超高真空化学气相淀积系统的研制曾玉刚 韩根全 余金中 成步文 王启明 (19)

高性能导电薄膜的制备张树人 陈国良 郭太良 (24)

掺硼a-Si：H薄膜脉冲快速光热退火（PRPTA）的研究汪昌州 杨仕娥 赵尚丽 文书堂 卢景霄 (28)

中频反应磁控溅射沉积Al2O3薄膜中迟滞回线的研究廖国进 巴德纯 闻立时 刘斯明 阎绍峰 (32)

信息

中国真空学会真空工程专业委员会关于征集学术论文的通知 (8)

复旦大学师生沉痛送别老校长华中一教授 (11)

庞世瑾先生逝世 (15)

TFC’07全国薄膜技术学术研讨会征集论文通知 (18)

第一届真空热处理技术培训班圆满结束 (23)

东北大学第四期《真空技术》培训班招生通知 (31)

2007年全国真空冶金与表面工程学术会议征文通知 (31)

《真空技术》一书出版发行王晓冬 (35)

孙企达教授的近作获中国石油和化学工业优秀科技图书二等奖戴燕红 (42)

上海曙光机械制造厂有限公司企业情况介绍 (46)

《真空工艺与实验技术》一书出版发行 (50)

《真空材料》一书出版发行 (59)

迁址通知 (59)

第三届真空镀膜技术培训班通知 (62)

《真空工程技术》一书已出版张志军 (71)

2007年中国真空学会活动计划（摘录） (74)

真空获得

滑阀真空泵的结构分析和节能探讨王国民 许涛 王再恩 郑慧萍 李锦卫 (36)

多级水蒸汽喷射泵系统真空度常见故障的成因及诊断靳雨菲 (40)

小型锆吸气泵在真空靶室中的应用研究张小东 邱孟通 宋纪文 李大海 陈亮 (43)

自动控制

台式冻干机自动控制系统姜涛 欧阳新萍 仇鑫明 (47)

HFCVD金刚石膜衬底温度的计算机控制褚向前 朱武 陈长琦 左敦稳 朱胤 (51)

真空厕所终端控制系统的研究刘旭华 周敬宣 胡国良 (54)

离子火箭发动机栅极组件短路消除方法郑茂繁 江豪成 (56)

MCGS组态软件在真空热处理炉中的应用周志文 (60)

真空应用

TiO2光催化除乙烯及在果蔬保鲜中的应用孙企达 (63)

大电流多枪等离子弧焊箱的研制杨世杰 彭常户 任源 李力 (66)

真空开关电弧等离子体特性诊断技术研究进展董华军 崔远慧 毛书勤 王仁丽 周正阳 (69)

磁性陶瓷靶材的制备及其应用研究徐小玉 黄之德 赵玉涛 (72)

一种可用于材料在低温环境下放气的测试系统杨春光 肖由明 徐烈 (75)

真空技术应用系列讲座

真空技术及应用系列讲座 (78)

钢液炉外精炼设备真空系统的设计分析杨乃恒 巴德纯 刘坤 (1)

真空下生成AlF2的热力学研究李秋霞 靳翠芝 陈为亮 戴永年 (9)

信息

川北科技（北京）有限公司 (12)

迁址通知 (39)

上海曙光机械制造厂有限公司企业情况介绍 (65)

迁址通知 (71)

学术论文的评定与期刊等级的划分陆国柱 (I0004)

薄膜

沉积硬质涂层技术的新发展王福贞 (13)

磁控溅射中电磁场分布及带电粒子运动的模拟与计算王君 刘珍 陈长琦 朱武 陈明 (20)

磁过滤阴极真空弧沉积法制备TiAlN薄膜的研究丁剑飞 吴先映 李强 周奎 王桂岳 冷崇燕 (24)

Ti／TiO2多层膜的光电性能研究武素梅 薛钰芝 苏梦 (29)

卷绕式海绵材料真空磁控溅射镀膜设备的研制魏海波 孙清 张君薇 池世春 (33)

含钨类金刚石薄膜的制备与性能研究牛孝昊 罗庆洪 杨会生 陆永浩 熊小涛 王燕斌 (36)

离子辅助蒸发（1-x）TiO2-（x）Ta2O5薄膜及其光学性能研究王汉华 薛亦渝 郭培涛 张光勇 马中杰 (40)

影响电真空陶瓷金属化质量的因素分析杨卫英 伍智 李蓉 (44)

SiOx薄膜的制备及发光特性研究游泳 何娟美 徐小华 饶瑞昌 符五久 李群 吴雪梅 (47)

新型电阻（金属膜）专用镀膜机的研制马铁明 付洪川 闫正宇 董丽娜 王春东 (50)

TiN／AIN纳米多层膜的调制周期及力学性能研究陈德军 代明江 林松盛 李洪武 候惠君 (52)

无

橡胶密封件产品介绍——沈阳市正阳橡塑密封件厂 (19)

ZKY-2000真空仪 ZKJ-90真空继电器 (58)

致编委的一封信——2007年编委会调整说明苏原 (I0001)

书讯

《真空技术》一书出版发行王晓冬（供稿） (19)

《真空材料》一书出版发行 (39)

《真空工程技术》一书已出版张志军 (39)

《真空工艺与实验技术》一书出版发行 (74)

会议消息

2007年第九届国际真空展闭幕 (23)

2007年全国真空冶金与表面工程学术会议纪要 (28)

中国真空学会真空工程专业委员会关于征集学术论文的通知 (32)

第四届真空获得技术培训班于9月15～20日开班 (43)

2007年中国真空学会活动计划（摘录） (49)

TFC’07全国薄膜技术学术研讨会征集论文通知 (68)

东北大学第四期《真空技术》培训班成功举办 (78)

真空干燥

玉米真空干燥特性的实验研究张志军 徐成海 张世伟 (55)

真空管道TiN膜热出气率实验研究王勇 张耀锋 尉伟 范乐 王建平 耿会平 (59)

关于真空中工作的加热器材料选择张志坤 (62)

不同温度下玻璃钢材料放气速率的试验研究肖尤明 冯海东 朱鸿梅 徐烈 (66)

自动控制

BEPCII直线真空自动远控系统的实现邓秉林 (69)

上海光源TSP＆NEG复合电源的研制安双利 蒋迪奎 蒋罗荣 金建初 (72)

诊断中性束装置离子源起弧实验的多元非线性回归分析陈长琦 王保华 刘智民 刘胜 许明亮 胡纯栋 (75)

真空技术应用系列讲座

第十五讲 真空工程封接技术张以忱 (79)